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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

資料名

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み (図解入門)

著者名 佐藤 淳一/著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年月 2019.12


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No. 所蔵館 資料種別 配架場所 状態 帯出区分 請求記号 資料番号 貸出
1 本館図書一般中央図書室在庫 帯出可549//0118687045

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2019
549.8 549.8
半導体

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1009916816953
書誌種別 図書
著者名 佐藤 淳一/著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年月 2019.12
ページ数 261p
大きさ 21cm
ISBN 4-7980-6037-8
分類記号(9版) 549.8
分類記号(10版) 549.8
資料名 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み (図解入門)
資料名ヨミ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ
叢書名 図解入門
叢書名 Visual Guide Book
副書名 ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
副書名ヨミ ファブ カラ ケンサ マデ セイゾウ ソウチ オ フカン スル
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー(株)入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。

(他の紹介)内容紹介 製造装置の構想・構成から、検査・想定・解析装置まで。製造装置の現状と進歩が図解でよくわかる!
(他の紹介)目次 第1章 半導体製造装置を取り巻く現状
第2章 半導体製造装置をファブから理解する
第3章 洗浄・乾燥装置
第4章 イオン注入装置
第5章 熱処理装置
第6章 リソグラフィー装置
第7章 エッチング装置
第8章 成膜装置
第9章 平坦化(CMP)装置
第10章 検査・測定・解析装置
第11章 後工程装置
(他の紹介)著者紹介 佐藤 淳一
 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。1978年、東京電気化学工業(株)(現TDK)入社。1982年、ソニー(株)入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ(セリート)創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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