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蔵書情報

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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

資料名

日本の米 (中公新書)

著者名 降幡 賢一/著
著者名ヨミ フリハタ ケンイチ
出版者 中央公論社
出版年月 1981.11


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No. 所蔵館 資料種別 配架場所 状態 帯出区分 請求記号 資料番号 貸出
1 本館図書一般書庫在庫 帯出可611.3/14/0111552980

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半導体

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1006010015048
書誌種別 図書
著者名 降幡 賢一/著
著者名ヨミ フリハタ ケンイチ
出版者 中央公論社
出版年月 1981.11
ページ数 236p
大きさ 18cm
ISBN 4-12-100634-8
分類記号(9版) 611.33
分類記号(10版) 611.33
資料名 日本の米 (中公新書)
資料名ヨミ ニホン ノ コメ
叢書名 中公新書
叢書名巻次 634
副書名 産地からの報告
副書名ヨミ サンチ カラ ノ ホウコク

(他の紹介)内容紹介 製造装置の構想・構成から、検査・想定・解析装置まで。製造装置の現状と進歩が図解でよくわかる!
(他の紹介)目次 第1章 半導体製造装置を取り巻く現状
第2章 半導体製造装置をファブから理解する
第3章 洗浄・乾燥装置
第4章 イオン注入装置
第5章 熱処理装置
第6章 リソグラフィー装置
第7章 エッチング装置
第8章 成膜装置
第9章 平坦化(CMP)装置
第10章 検査・測定・解析装置
第11章 後工程装置
(他の紹介)著者紹介 佐藤 淳一
 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。1978年、東京電気化学工業(株)(現TDK)入社。1982年、ソニー(株)入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ(セリート)創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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